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電子潔凈實驗室的前期規(guī)劃與設(shè)計

更新時間:2025-03-04

潔凈實驗室規(guī)劃設(shè)計案例

  明確需求與等級標(biāo)準(zhǔn)

  確定潔凈度等級(如ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)中的Class 1~9級,或美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209E),進(jìn)而進(jìn)行潔凈工程。

  根據(jù)實驗類型(如半導(dǎo)體制造、微電子器件封裝、光學(xué)器件研發(fā))確定溫濕度、氣壓梯度、防靜電(ESD)、振動控制等參數(shù)。

  預(yù)留未來升級空間,考慮設(shè)備布局和工藝動線。

  選址與建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計

  避免靠近振動源、污染源(如交通干道、化工廠)。

  建筑主體需具備高氣密性,墻體、天花板采用無塵、抗靜電材料(如彩鋼板、不銹鋼板)。

  地面采用環(huán)氧自流平或PVC防靜電地板,接縫需密封處理。

  HVAC系統(tǒng)設(shè)計

  空氣凈化系統(tǒng):高效過濾器(HEPA/ULPA)的布局與換氣次數(shù)(如ISO Class 5級需≥50次/小時)。

  溫濕度控制:精密空調(diào)系統(tǒng),維持溫度22±1℃、濕度45%±5%。

  氣流組織:單向流(層流)或非單向流(湍流),確保污染物快速排出。

電子實驗室潔凈房間

  防靜電與電磁屏蔽

  地面、工作臺面采用導(dǎo)電材料,接地電阻≤1×10?Ω。

  設(shè)備需配置離子風(fēng)機(jī)或靜電消除器,必要時增加電磁屏蔽室。



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